粗糙度輪廓儀的發展方向,請看這里分析
隨著機械、電子以及光學工業的飛速發展,對精密機械加工表面的質量要求日益提高,使得表面粗糙度的測量具有越來越重要的地位。對激光核聚變驅動器、磁盤、 光盤、X射線光學儀器元件、大功率激光窗口以及同步輻射器元件的表面粗糙度要求,均已達到了納米級要求。這些需求也極大的促進了表面粗糙度測量技術的發展。粗糙度輪廓儀表面粗糙測量技術的未來發展方向如何呢?
現代科學技術的許多領域對表面的質量提出了更高的要求,一方面現有的常規檢測方法不能滿足測量精度的要求,特別是近幾年以來納米技術的出現和逐步的推廣應用, 相應的提高了對表面粗糙度測量精度的要求,使表面粗糙度測量技術吵著更精、更準的方向發展。
另一方面,復雜立體形狀加工技術的發展也對三維表面粗糙度測量的發展提出了新的要求。在過去很長一個時期內關于表面粗糙度的表征參數都是在某一法向截面所截得的 輪廓線上進行評定,只反映高度和橫向距離之間的關系。屬于“二維”評定;但當需要考察的表面粗糙度是一個小面積區域內做評定時,就還應考慮縱向的距離關系,這就拓展為“三維”評定表面粗糙度成為可行。
電子技術、計算機技術和精密加工技術的發展為表面粗糙度測量的進一步發展提供了技術基礎。20世紀80年代出現的原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、掃描進場光學顯微鏡(SNOM)、光子掃描隧道顯微鏡(PSTM)等用于表面粗糙度的測量時一個很希望的方向。
此外,在科學研究和生產實踐的許多領域,以往的加工后抽樣測量已經不能再滿足要求,這就需要有能夠實現在線測量的測量新方法。一次超高精度表面的高精度測量、三維表面粗糙度測量以及在線實時測量使粗糙度測量將來發展的主要方向。